高真空存桿儀可自由設(shè)置為原位樣品臺(tái)提供高真空存放環(huán)境，避免樣品臺(tái)受到污染，更可清潔樣品臺(tái)，尤其適用于原位樣品臺(tái)。方便研究人員對(duì)不同樣品臺(tái)的切換，觸屏控制最多可實(shí)現(xiàn)10路樣品臺(tái)單獨(dú)存取。系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)真空度檢測(cè)及真空度智能維持及漏氣報(bào)警功能。
高真空存桿儀的結(jié)構(gòu)介紹：
1.腔體靠近樣品區(qū)的位置為可視化窗口設(shè)計(jì)，可直接觀察樣品桿上的樣品、芯片等，方便操作。接口模塊包含真空閥，用以在電源關(guān)閉時(shí)保持真空狀態(tài)，或在取桿時(shí)實(shí)現(xiàn)氣體快速通入，加速樣品桿取出過(guò)程。高真空存桿腔體采用模塊化設(shè)計(jì)，支持多個(gè)廠家樣品桿，適用廠家包括：JEOL、FEI、Hitachi。
2.觸屏控制界面，可以進(jìn)行真空數(shù)據(jù)設(shè)定、讀取及觸控操作(HMI)，圖形化界面清晰簡(jiǎn)潔、操作簡(jiǎn)便。
3.高真空自動(dòng)控制系統(tǒng)，可以根據(jù)參數(shù)設(shè)置要求，自動(dòng)控制分子泵的啟動(dòng)與停止，確保樣品桿長(zhǎng)期處于高真空狀態(tài)。
4.內(nèi)置高真空測(cè)量系統(tǒng)和高真空發(fā)生系統(tǒng)，其中測(cè)量系統(tǒng)包括真空度測(cè)量和分子泵轉(zhuǎn)速測(cè)量，高真空發(fā)生系統(tǒng)包括真空管道、真空泵、真空閥、真空計(jì)等，為產(chǎn)品提供高真空存儲(chǔ)環(huán)境。
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