透射電鏡液體光學(xué)原位系統(tǒng)采用MEMS微加工工藝在原位樣品臺(tái)內(nèi)構(gòu)建液氛納米實(shí)驗(yàn)室，通過樣品臺(tái)內(nèi)置的光纖將光作為外場條件搭載其上，通過MEMS芯片和光纖引入的光源對樣品施加光場刺激條件，在進(jìn)行光學(xué)性質(zhì)測量的同時(shí)，結(jié)合使用EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多種不同模式，實(shí)現(xiàn)從納米甚至原子層面實(shí)時(shí)、動(dòng)態(tài)監(jiān)測樣品在液氛環(huán)境中隨光場變化產(chǎn)生的微觀結(jié)構(gòu)演化、反應(yīng)動(dòng)力學(xué)、相變、元素價(jià)態(tài)、化學(xué)變化、微觀應(yīng)力以及表/界面處的原子級(jí)結(jié)構(gòu)和成分演化等關(guān)鍵信息。
實(shí)驗(yàn)中，樣品被密封在超薄氮化硅薄膜覆蓋的液體池內(nèi)，池內(nèi)可以承載一個(gè)大氣壓。芯片電極聯(lián)通外接電路，從而在中搭建一個(gè)液體-電化學(xué)測試環(huán)境。
透射電鏡液體光學(xué)原位系統(tǒng)采用的技術(shù)有：
1、高分子膜面接觸密封技術(shù)，相比于o圈密封，增大了密封接觸面積，有效減小滲漏風(fēng)險(xiǎn)。
2、納流控技術(shù)，通過壓電微控系統(tǒng)進(jìn)行流體微分控制，實(shí)現(xiàn)納升級(jí)微量流體輸送，原位納流控系統(tǒng)及樣品桿中冗余的液體量僅有微升級(jí)別，有效保證電鏡安全。
3、超高溫鍍膜技術(shù)，芯片視窗區(qū)域的氮化硅膜具有耐高溫低應(yīng)力耐壓耐腐蝕耐輻照等優(yōu)點(diǎn)。
4、多場耦合技術(shù)，可在液相環(huán)境中實(shí)現(xiàn)光、電、熱、流體多場耦合。
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